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Conception,Modelisation et realisation d'un capteur de pression capacitif microelectronique / nasr-eddine ben moussa
Titre : Conception,Modelisation et realisation d'un capteur de pression capacitif microelectronique Type de document : texte imprimé Auteurs : nasr-eddine ben moussa, Auteur Année de publication : 1985 Importance : 161p. Présentation : ill. Format : 30cm. Langues : Français (fre) Mots-clés : Microélectronique, capteur,pressure,capacitif,micro-usinage,silicium,modélisation,technologie,capteur de pression capacitif microélectronique Résumé : La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à modélisée en suivant une méthode semi-anaytique.Connaissant la déflexion en tout point,Le comportement de condensateurs va-friables constitués par l'association d'une armature plane rigide et de membranes de ce type ayant une géométrie carrée ou recta-qulaire est analyse en termes de linéarité,de sensibilité et de limitations intrinsèques,Pour valider le modèle,une structure d'étude est réalisée à partir des techniques de la micro électronique sur substrat de verre. Conception,Modelisation et realisation d'un capteur de pression capacitif microelectronique [texte imprimé] / nasr-eddine ben moussa, Auteur . - 1985 . - 161p. : ill. ; 30cm.
Langues : Français (fre)
Mots-clés : Microélectronique, capteur,pressure,capacitif,micro-usinage,silicium,modélisation,technologie,capteur de pression capacitif microélectronique Résumé : La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à modélisée en suivant une méthode semi-anaytique.Connaissant la déflexion en tout point,Le comportement de condensateurs va-friables constitués par l'association d'une armature plane rigide et de membranes de ce type ayant une géométrie carrée ou recta-qulaire est analyse en termes de linéarité,de sensibilité et de limitations intrinsèques,Pour valider le modèle,une structure d'étude est réalisée à partir des techniques de la micro électronique sur substrat de verre. Exemplaires
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