Titre : |
Conception,Modelisation et realisation d'un capteur de pression capacitif microelectronique |
Type de document : |
texte imprimé |
Auteurs : |
nasr-eddine ben moussa, Auteur |
Année de publication : |
1985 |
Importance : |
161p. |
Présentation : |
ill. |
Format : |
30cm. |
Langues : |
Français (fre) |
Mots-clés : |
Microélectronique, capteur,pressure,capacitif,micro-usinage,silicium,modélisation,technologie,capteur de pression capacitif microélectronique |
Résumé : |
La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à modélisée en suivant une méthode semi-anaytique.Connaissant la déflexion en tout point,Le comportement de condensateurs va-friables constitués par l'association d'une armature plane rigide et de membranes de ce type ayant une géométrie carrée ou recta-qulaire est analyse en termes de linéarité,de sensibilité et de limitations intrinsèques,Pour valider le modèle,une structure d'étude est réalisée à partir des techniques de la micro électronique sur substrat de verre. |
Conception,Modelisation et realisation d'un capteur de pression capacitif microelectronique [texte imprimé] / nasr-eddine ben moussa, Auteur . - 1985 . - 161p. : ill. ; 30cm. Langues : Français ( fre)
Mots-clés : |
Microélectronique, capteur,pressure,capacitif,micro-usinage,silicium,modélisation,technologie,capteur de pression capacitif microélectronique |
Résumé : |
La réponse de membranes fines de silicium totalement encastrées à modélisée en suivant une méthode semi-anaytique.Connaissant la déflexion en tout point,Le comportement de condensateurs va-friables constitués par l'association d'une armature plane rigide et de membranes de ce type ayant une géométrie carrée ou recta-qulaire est analyse en termes de linéarité,de sensibilité et de limitations intrinsèques,Pour valider le modèle,une structure d'étude est réalisée à partir des techniques de la micro électronique sur substrat de verre. |
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