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Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW. / Souhila BENSMAINE
Titre : Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW. Type de document : texte imprimé Auteurs : Souhila BENSMAINE Importance : 160 P Présentation : ILL Format : 30cm Langues : Français (fre) Mots-clés : Oxde zinc -Axe anclinØ-SestLmes -Saw-Caractirisations structurales et physico-chimique de surface. Résumé : Ce travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat. Dépot de couches minces d'xyde de zinc avec axe e incliné par la pulvérisation magnétron et la réalisaton des dispositifs à acoustiques de surface SAW. [texte imprimé] / Souhila BENSMAINE . - [s.d.] . - 160 P : ILL ; 30cm.
Langues : Français (fre)
Mots-clés : Oxde zinc -Axe anclinØ-SestLmes -Saw-Caractirisations structurales et physico-chimique de surface. Résumé : Ce travail a pour but dépôt de couches de zinc avec axe c incliné par la méthode de la pulvérisations magnétron et la réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface SAW.LE développement de procédés technologiques nécessaires pour la réalisation de ces dispositifs a fait l'objet d'une grande partie d'étude.Nous avons pu optimiser les paramètres de dépot de la pulvérisation magnétron pour des films ZnO piézolélectriques et orientés (002) perpendiculaire à la surface du substrat. Exemplaires
Code-barres Cote Support Localisation Section Disponibilité aucun exemplaire